【SK海力士推进环保举措，替换芯片生产清洁气体】
SK海力士近日宣布，已在部分芯片生产的清洁工艺中***用更环保的气体。公司测试并实施了以全球变暖潜值较低的气体替代三氟化氮(NF3)的方案。目前，SK海力士已将GWP为0的F2气体应用于某些工艺步骤中。
（图片来源网络，侵删）
版权声明：
本网站数据均来自网络,若有文章、图片版权异议或其他问题请及时联系网站管理员立即处理
标签： #气体
SK海力士：***用GWP为0的F2气体替代三氟化氮
0
