06月19日，光刻机概念盘中拉升，截至10点32分，光刻机概念整体指数上涨0.65%，报1525.520点。
从个股上来看，该概念的成分股中，蓝英装备涨2.95%，波长光电、张江高科、海立股份涨幅居前。
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从资金上来看，截止发稿，光刻机概念主力净流入为-2.09亿，其中波长光电受到资金热捧，主力净流入391.64万；拉长时间线来看，该板块近20日主力资金净流入-14.96亿。
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